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 オプションモジュール - DC - Data Conversion
dw-2000 DCモジュールでは多岐に渡るポストプロセッシングモジュ−ルによりGDSII・OASIS以外の以下の種類のデ−タ変換機能を備えています。

※GDSII及びOASIS形式は基本モジュールで入出力とも完全サポート致しております。

MEBES

MEBES変換はdw-2000のライブラリからデ−タを抽出したいとき、またはEBEAM読込み形式への直接変換が必要な際に使用されるものです。
特に固有歪曲を確認する際にMEBES形式が適用されることが多いでしょう。通常自然なMEBES歪曲は部品不良を引き起こしてしまうこともあるため、デ−タが非常に正確である必要があることをユ−ザ−は最大限考慮しなければいけません。dw-2000ではdw-2000からMEBESへの出力、GPEベ−スのMEBES-to-dw-2000コンバ−タ−を用いてのMEBESデ−タのユ−ザ−ライブラリへの読み返し、そしてそれをオリジナルデ−タ上に置くことも可能です。これによりユ−ザ−はマスクへの転送される前に相違点の比較や問題の発見・修正ができるようになります。

☆ MEBES出力概要
変換種類 : I (0.5μ) ・ II (0.25μ) ・ 拡張及びレチクルモ−ド
解像度 : 0.05μ から 1.1μまで(ミクロン)
デ−タのスケ−リング可能
256、512及び1024アドレスユニットのストライプ高
エラ−及び活動のログ
Cambridge SPD
Cambridge SPD変換モジュ−ルは、EBEAMなどへの更なる変換を図るためにdw-2000ライブラリからCambridge SPDフォ−マットへの直接変換を行うものです。Dw-2000 Cambridge SPD変換モジュ−ルはMEBES変換同様、dw-2000へのデ−タ再転換及びオリジナルデ−タ上への配置も可能です。

☆ Cambridge出力概要  
製造範囲 : 1ナノメ−タ 〜 1ミリメ−タ
レイヤ−またはデ−タ種類を基にしたクロックステ−トメント挿入
無から完全台形までフラクチャリングコントロ−ル選択
系統コメント参照
ゼロ幅ラインスキャンへの矩形挿入
JEOL-01
JEOL-01変換モジュ−ルは、EBEAMなどへの更なる変換を図るためにdw-2000ライブラリからJeol-01フォ−マットへの直接変換を行うものです。dw-2000 JEOL-01変換モジュ−ルはMEBES変換同様、dw-2000へのデ−タ再変換及びオリジナルデ−タ上への配置も可能です。

☆ JEOL-01出力概要  
製造範囲 : 1ナノメ−タ 〜 1ミリメ−タ
レイヤ−またはデ−タ種類を基にしたショットランク調整
系統コメント参照
ゼロ幅パスへのライン出力サポ−ト
エラ−及び活動のログ
JEOL-51
JEOL-51変換モジュ−ルは、dw-2000ライブラリからデ−タを抽出し、JEOL機器用フォ−マットに変換するものです。EOS 1〜8、5b、6b、7b、8b、3c、4c、7c、8cのいかなるJEOL JBX-5D11/5FEに対応しております。また、様々な組み合わせ及び柔軟性を持たせられるよう、フィ−ルドサイズ及びサブフィ−ルドサイズは独立してX・Yに設定することが出来ます。Dw-2000 JEOL-51変換モジュ−ルには、変換のラウンドオフや不一致を検査するためにオリジナルデ−タ上に変換デ−タを置くことが出来るJEOL-51リ−ダ−が含まれております。

☆ JEOL-51出力概要
EOSモ−ド選択(1〜8、5b、6b、7b、8b、3c、4c、7c、8c)
独立X・Yフィ−ルドサイズ及びサブフィ−ルドサイズ
16または64のデ−タ種類によるショットランクモジュ−ル
旧式PDP-11互換
ポストプロセッシング用ID名挿入(PREAD)
エラ−及び活動のログ
CIF INPUT
CIF/Caltech Interchange Formatは教育環境で広く使われている形式です。dw-2000 Data Conversionモジュ−ルにはCIFフォ−マットデ−タを読込めるGPEプログラムが装備されており、dw-2000ライブラリへ直接転換することが出来ます。因みにdw-2000のエレメントをCIF形式に正確に反映させることが出来ないため、CIF出力はサポ−ト致しておりません。
Graphics Output
レイアウトをそのまま、または出力範囲を指定してクリップボードや画像ファイルに出力することが出来ます。出力できる画像形式の種類はBMP、JPEG、GIF及びPNGの四種類から選択できます。
DXF, DWG
AutoCAD標準形式のDXF・DWGについては別オプションのAutoCAD Conversionモジュールにて入出力とも完全サポートしております。詳しくはこちらをご参照下さい。
Others
dw-2000では上記フォ−マット以外に、標準添付サンプルマクロによる以下のデ−タ変換をサポ−トしております:

・MEBES IN
・Jeol-01 IN
・Jeol-51 IN
・Cambridge SPD IN

その他のフォ−マットは現在、標準ではサポ−トしておりません。但し、IGES形式のように上記のGraphics Outputを利用することでクリップボ−ド経由で変換することができるものもあります。必要な変換形式が一覧に無い場合は、お気軽にお尋ねください。
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